توضیحات
معرفی محصول:
در رسوب گذاری به روش تبخیر فیزیکی یاPVD، پوشش ها روی سطوح جامد از طریق چگالش عنصرها و ترکیب ها از فاز گازی تولید میشوند. تبخیر در خلاء عمومی ترین روش تهیه لایه های بسیار خالص و تحت شرایط نسبتا کنترل شده است. اصول این روش عموما بر اساس اثرهای کاملا فیزیکی پایه ریزی میشود، اما PVD ممکن است در بعضی موارد با واکنش های شیمیایی نیز همراه باشد. بعضی از این واکنش های شیمیایی عمدتا در فناوری انباشت لایه های خاص به کار می روند. رسوب گذاری به روش تبخیر فیزیکی شامل مراحل زیر است.
الف. تبدیل ماده تبخیری به حالت گازی از طریق تبخیر یا تصعید و یا کندوپاش کاتدی
ب. انتقال اتم ها (مولکول ها) از چشمه تبخیر به زیر لایه، در فشار کاهش یافته
ج. رسوب این ذره ها روی زیر لایه
د. بازآرایی پیوند اتم ها در سطح زیر لایه
در حالت کلی تر مکانیزم های اصلی در فرآیند رسوب گذاری فیزیکی بخار عبارتند از جداکردن اتم از سطح به طریق اشعه، باریکه الکترونی، حرارت و غیره و یا اینکه یونی به سطح برخورد کرده و سبب پرتاب اتم از ماده هدف می شود. در نگاه کلی روش رسوب گذاری فیزیکی بخار شامل چندین روش متفاوت است که دارای مکانیزم های نسبتا مشابهی است.
تارگت های اسپاترینگ موادی هستند که برای تولید لایه های نازک به روشی به نام رسوب گذاری از فاز بخار استفاده می شوند. در این فرآیند، تارگت های اسپاترینگ به صورت یک جامد شروع میشوند و سپس توسط یونهای گازی به ذرات کوچک تقسیم میشوند که یک پلاسما تشکیل داده و سطح نمونه مورد نظر را پوشش می دهند.
(Yttria granulate)
(Hafnia granulate)
مشخصات فنی:
| ردیف | نام محصول | کد محصول | مشخصات | خلوص | ابعاد |
| 1 | تارگت تیتانیوم (Ti) | T-350-99 | چگالی g/cm3 5/4
رنگ: نقره ای جرم مولی: amu 8/47 |
3N-4N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 50-3 میلی متر |
| 2 | تارگت نیکل (Ni) | N-350-99 | چگالی g/cm3 9/8
رنگ: نقره ای جرم مولی: amu 7/58 |
3N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 50-3 میلی متر |
| 3 | تارگت کروم (Cr) | C-350-99 | چگالی g/cm3 18/7
رنگ: نقره ای جرم مولی: amu 52 |
3N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 50-3 میلی متر |
| 4 | تارگت کروم-آلومینیوم (Cr-Al) | CA-350-99 | چگالی g/cm3 5/5
رنگ: نقره ای جرم مولی: amu 97/78 |
3N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 50-3 میلی متر |
| 5 | تارگت تیتانیوم-آلومینیوم (Ti-Al) | TA-350-99 | رنگ: نقره ای
جرم مولی: amu 81/128 |
3N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 50-3 میلی متر |
| 6 | تارگت سرامیکی آلومینایی (Al2O3) | A-33-99 | چگالی g/cm3 95/3
رنگ: سفید جرم مولی: amu 96/101 |
3N-4N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 3 میلی متر |
| 7 | تارگت سرامیکی ایتریایی (Y2O3) | Y-33-99 | چگالی g/cm3 04/5
رنگ: سفید جرم مولی: amu 81/225 |
3N-4N | قطر: 3-1 اینچ
ضخامت: 3 میلی متر |
| 8 | گرنول ایتریایی (Y2O3) | YG-5-99 | چگالی g/cm3 04/5
رنگ: سفید جرم مولی: amu 81/225 |
3N-4N | mm 3-5 |
| 9 | گرنول هافنیایی (HfO2) | HG-5-99 | چگالی g/cm3 7/9
رنگ: سفید جرم مولی: amu 5/210 |
3N-4N | mm 3-5 |
| 10 | گرنول کروم (Cr) | CG-10-99 | چگالی g/cm3 18/7
رنگ: نقره ای جرم مولی: amu 52 |
3N | mm 1-10 |
نقد و بررسیها
هنوز بررسیای ثبت نشده است.